Pengaruh Suhu Tumbuh Terhadap Struktur Kristal  Lapisan Tipis ZnO 0.02 mol

Wisnu Purno Aji; Rizqon Priyotomo; Iwan Sugihartono; Erfan Handoko; Bambang Soegijono; Bambang Soegijono; M. Hikam

Wisnu Purno Aji Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta, Jalan Pemuda No. 10 Jakarta Timur, 13220
Rizqon Priyotomo Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta, Jalan Pemuda No. 10 Jakarta Timur, 13220
Iwan Sugihartono Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta, Jalan Pemuda No. 10 Jakarta Timur, 13220
Erfan Handoko Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta, Jalan Pemuda No. 10 Jakarta Timur, 13220
Bambang Soegijono PPS Ilmu Material Universitas Indonesia, Jalan Salemba Raya No. 4, Jakarta Pusat, 10430
Bambang Soegijono PPS Ilmu Material Universitas Indonesia, Jalan Salemba Raya No. 4, Jakarta Pusat, 10430
M. Hikam PPS Ilmu Material Universitas Indonesia, Jalan Salemba Raya No. 4, Jakarta Pusat, 10430

Abstract

Telah dilakukan penumbuhan lapisan tipis ZnO 0.02 mol diatas substrat Si (111) menggunakan teknik Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP) dengan suhu tumbuh 4000C, 4500C, dan 5000C. Serbuk Zn(CH3COO)2 . 2H2O digunakan sebagai larutan precursor dengan air de-ionisasi sebagai pelarut. Berdasarkan profil warna lapisan tipis ZnO yang tumbuh diatas substrate silikon diprediksikan memiliki ketebalan sekitar 200 nm. Sementara, hasil karakterisasi menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) pada temperature ruang menunjukan bahwa fasa kristal yang terbentuk merupakan polikristal ZnO dengan intensitas spectrum XRD yang tidak linear dengan penambahan suhu tumbuh.

Kata kunci: Lapisan Tipis, Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP), Struktur Kristal.